Уважаемые пользователи! Приглашаем Вас на обновленный сайт проекта: https://industry-hunter.com/
Контроль герметичности уплотнений МЭМС-устройств - ЭЛИНФОРМ
Информационный портал по технологиям производства электроники
Контроль герметичности уплотнений МЭМС-устройств  - ЭЛИНФОРМ
На главную страницу Обратная связь Карта сайта

Скоро!

Событий нет.
Главная » Новости » Новости практической технологии » Контроль герметичности уплотнений МЭМС-устройств

Новости практической технологии

08 октября 2010

Контроль герметичности уплотнений МЭМС-устройств

Изображение с сайта www.ostec-micro.ru

Лидер в области производства оборудования для акустической микроскопии, компания Sonoscan, представила программное обеспечение для обнаружения дефектов в уплотнениях, окружающих полости внутри МЭМС-устройств и защищающие их от внешнего воздействия.


Акустическое изображение пустот (слева) и разрыва уплотнения (справа) в МЭМС-устройстве до резки пластины.

Пустоты, показанные на рис.1, являются наиболее часто встречаемыми дефектами в уплотнениях, которые бывают металлическими или полимерными в зависимости от требуемой степени герметичности. Также встречаются разрывы, представленные на рис.2. Расслоение уплотнений, возникающее при производстве в результате загрязнений, является еще одним частым дефектом.

Эти дефекты опасны тем, что при воздействии механических и термических воздействий область дефекта разрастается и приводит к нарушению герметичности уплотнения и в последующем - к изменению требуемых параметров газовой среды внутри полости. Уплотнения предохраняют устройство от внешних частиц, газов и влажности. Например, влажность может стать причиной ухудшения работоспособности подвижных частей внутри полости.

Размеры дефектов могут быть всего несколько десятков микрон в диаметре и толщиной меньше микрона, однако все они отображаются системами C-SAM®, способной улавливать трещины, отражающие >99.99% ультразвуковых импульсов ОВЧ/УВЧ диапазона.

При производстве МЭМС можно выборочно просканировать образцы с помощью системы C-SAM, чтобы убедиться, что параметры техпроцесса не допускают образования пустот. Там, где требуется высокая надежность (аэрокосмические или медицинские МЭМС-устройства), есть возможность стопроцентного контроля образцов.

Информация с сайта www.ostec-micro.ru.





Последние новости

АРПЭ провела практическую конференцию "Экспорт российской электроники"
подробнее
Портфельная компания РОСНАНО «РСТ-Инвент» разработала RFID-метки нового поколения WinnyTag Duo
подробнее
Научно-технический семинар «Электромагнитная совместимость. Испытательные комплексы для сертификационных и предварительных испытаний военного, авиационного и гражданского оборудования»
подробнее
Официальное представительство Корпорации Microsemi примет участие в выставке «ЭкспоЭлектроника» 2018
подробнее
Новое оборудование в Технопарке Зубово
подробнее
Избраны органы управления Технологической платформы «СВЧ технологии»
подробнее
«Рязанский Радиозавод» внедряет инструменты бережливого производства
подробнее
© “Элинформ” 2007-2022.
Информационный портал для производителей электроники:
монтаж печатных плат, бессвинцовые технологии, поверхностный монтаж, производство электроники, автоматизация производства