Словарь

Сплошное экспонирование (Flood exposure)

Описание:

Экспонирование светочувствительного слоя одновременно по всей поверхности, как правило, через маску (например, фотошаблон).

Сплошное экспонирование является традиционным методом получения рисунка при фотолитографии и прочих процессах, связанных с использованием фоточувствительных масок (резистов).

В сравнении с методом прямого экспонирования метод обладает высокой производительностью, но имеет определенные ограничения в точности и повторяемости, связанные с точностью совмещения фотошаблона, изменчивостью его геометрических параметров и определенной неравномерности по поверхности.